国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“基座的旋转驱动装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121951683A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开一种基座的旋转驱动装置和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域，基座的旋转驱动装置包括驱动轴、连接块和激光加热器，其中，所述驱动轴设有相互连通的容纳腔和开口，所述连接块的第一表面对应于所述开口设置，所述连接块的第二表面与所述嵌槽固定连接；所述连接块为透明结构件，所述激光加热器用以发出加热激光，所述加热激光经所述容纳腔穿过所述连接块，且用以加热所述基座的嵌槽所在的区域。上述基座的旋转驱动装置可以解决目前的石墨基座受热应力作用，容易导致其中心区域开设嵌槽的位置开裂，影响工艺效率且增大工艺成本的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1411次，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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